一种抛光设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922474677.X
IPC分类号：B24B27/00;B24B29/02;B24B53/007;B24B41/00;B24B55/06;B08B3/04
申请日期：
2019-12-31
申请人：
浙江芯晖装备技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种抛光设备
申请号	CN201922474677.X	申请日期	2019-12-31
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B27/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B27/00 其他磨床或装置	IPC分类号	B;2;4;B;2;7;/;0;0;;;B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;B;2;4;B;5;3;/;0;0;7;;;B;2;4;B;4;1;/;0;0;;;B;2;4;B;5;5;/;0;6;;;B;0;8;B;3;/;0;4查看分类表>
申请人	浙江芯晖装备技术有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江芯晖装备技术有限公司	当前权利人	浙江芯晖装备技术有限公司
发明人	杨兆明;颜凯;中原司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬

摘要

本实用新型涉及抛光技术领域，公开一种抛光设备。所述抛光设备包括安装台、传送机构和抛光机构。安装台上沿第一水平方向排列设置有多个独立的抛光区。传送机构沿第一水平方向可移动地设置在安装台上，以传送晶圆。每个抛光区内均设置有抛光机构，抛光机构包括抛光盘和抛光头，抛光盘和抛光头均可转动地设置在安装台上，抛光头沿第二水平方向可移动且沿竖直方向可升降地设置在安装台上，以吸附传送机构上的晶圆，并将晶圆移动至抛光盘的上方，抛光盘能够与抛光头相配合对晶圆进行抛光。本实用新型提供的抛光设备，能够有效提高抛光良率和抛光效率，同时适用范围广，能够满足多种抛光精度的要求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供