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喷镀装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02814386.8
  • IPC分类号:C23C18/31;H01L21/288
  • 申请日期:
    2002-10-15
  • 申请人:
    株式会社荏原制作所
著录项信息
专利名称喷镀装置
申请号CN02814386.8申请日期2002-10-15
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-09-29公开/公告号CN1533448
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/31IPC分类号C;2;3;C;1;8;/;3;1;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;8查看分类表>
申请人株式会社荏原制作所申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社荏原制作所当前权利人株式会社荏原制作所
发明人本乡明久;松田尚起;王新明
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人刘兴鹏
摘要
本发明涉及一种喷镀装置,所述喷镀装置能够使得一喷镀液始终保持最佳的情况,同时使得所需的喷镀液的量最小化,其能够在一工件的喷镀表面上很容易地形成一均匀的喷镀薄膜。所述喷镀装置包括:一个喷镀液供给系统(70),所述喷镀供给系统使得喷镀液不断地循环,同时加热在循环箱(80)中的喷镀液,其中所述循环箱中装有一加热装置(78a),并且当进行喷镀加工时向喷镀加工部(24)提供一定量的喷镀液;一个喷镀液回收系统(72),所述回收系统用于在喷镀加工后回收喷镀加工部(24)中的喷镀液,加热喷镀液,并且使得被加热的喷镀液返回至循环箱(80)中;以及一个喷镀液补充系统(74),所述补充系统用于向所述循环箱(80)补充新的喷镀液或者一种喷镀液组分。

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