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基板处理装置和基板处理方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210411814.5
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2012-10-24
  • 申请人:
    细美事有限公司
著录项信息
专利名称基板处理装置和基板处理方法
申请号CN201210411814.5申请日期2012-10-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-05-08公开/公告号CN103094157A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人细美事有限公司申请人地址
韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑毛枾里278 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人细美事有限公司当前权利人细美事有限公司
发明人赵昌洙
代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司代理人申健
摘要
本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法,使腔室的内部的温度变化较小。基于本发明的实施方式的基板处理装置包括:腔室,形成有运入基板的运入口;支承部件,设置于所述腔室的内部,运入的所述基板位于该支承部件上;温度调节部件,被设置为能够与所述支承部件进行热传导;在所述腔室中形成有:流入口,设置使得气体流入下部空间,该下部空间被提供于比所述支承部件低的位置;流出口,设置使得上部空间的气体被排出,该上部空间被提供于比所述支承部件高的位置。

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