基片的湿法制绒装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820465581.X
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/67;H01L31/0236
申请日期：
2018-03-30
申请人：
上海思恩装备科技有限公司

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专利名称	基片的湿法制绒装置
申请号	CN201820465581.X	申请日期	2018-03-30
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;6查看分类表>
申请人	上海思恩装备科技有限公司	申请人地址	上海市松江区三浜路9弄100号2幢一层-1 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海思恩装备科技有限公司	当前权利人	上海思恩装备科技有限公司
发明人	倪党生
代理机构	上海汉声知识产权代理有限公司	代理人	王叶娟;胡晶

摘要

本实用新型提出一种基片的湿法制绒装置，该湿法制绒装置包括至少一组涂抹装置，所述涂抹装置包括转动驱动装置、多个滚轴、及化学液槽体；所述化学液槽体内用以盛接化学液，所述化学液槽体具有开放槽口；所述多个滚轴并排排布设置在所述化学液槽体的开放槽口处，且各个滚轴均部分低于所述开放槽口的端面而另一部分高于开放槽口的端面；所述转动驱动装置连接所述多个滚轴，用以驱动各个滚轴同步转动；各个滚轴的表面均设置有多个柔性孔结构。可用来实现单面刻蚀制绒，降低成本。

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