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一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510232926.8
  • IPC分类号:B81C1/00;H01J9/00
  • 申请日期:
    2015-05-08
  • 申请人:
    华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司
著录项信息
专利名称一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法
申请号CN201510232926.8申请日期2015-05-08
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2015-11-04公开/公告号CN105016293A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B81C1/00IPC分类号B;8;1;C;1;/;0;0;;;H;0;1;J;9;/;0;0查看分类表>
申请人华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司申请人地址
上海市普陀区中山北路3663号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华东师范大学,上海欧普泰科技创业股份有限公司当前权利人华东师范大学,上海欧普泰科技创业股份有限公司
发明人王连卫;张弛;李劢;朱一平;徐少辉
代理机构上海伯瑞杰知识产权代理有限公司代理人吴泽群
摘要
本发明公开了一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法,包括切割成圆形的硅微通道板,所述的硅微通道板置于一模具台中,所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔,硅微通道板置于台阶孔中;模具台上设置有重压片,所述重压片完全覆盖台阶孔;模具台置于一石英架上;将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本发明具有以下有益效果:1.本发明是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用,以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度,使得氧化层厚度也形成梯度,引起梯度应力,释放该应力即形成球面的硅微通道板。

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