外观检查装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200680045953.3
IPC分类号：G01N21/956;H01L21/66;H04N5/335
申请日期：
2006-12-05
申请人：
芝浦机械电子装置股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	外观检查装置
申请号	CN200680045953.3	申请日期	2006-12-05
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-12-17	公开/公告号	CN101326436
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/956 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/956 检测物品表面上的图案〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;4;N;5;/;3;3;5查看分类表>
申请人	芝浦机械电子装置股份有限公司	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	芝浦机械电子装置股份有限公司	当前权利人	芝浦机械电子装置股份有限公司
发明人	林义典，森秀树
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	黄纶伟

摘要

提供一种外观检查装置，其能够尽量抑制处理量的增大，而且能够以合适的分辨率检测作为检查对象的物体表面的划痕等的缺陷，能够判定该物体表面上的膜的形成状态。该外观检查装置包括具有感色性特性不同的多个线传感器(22R、22G、22B)的摄像装置(20)和处理装置(50)。处理装置(50)具有像素数据获取单元(S14)，该像素数据获取单元以第1像素密度从来自基准线传感器的密度信号获取像素密度数据，并以低于第1像素密度的第2像素密度，从来自基准线传感器以外的各个线传感器的密度信号获取像素密度数据。根据以第1像素密度获取的像素密度数据和以第2像素密度获取的像素密度数据，生成表示所述物体表面的状态的信息。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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