检测设备的补偿方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610369835.3
IPC分类号：G01N21/88
申请日期：
2016-05-27
申请人：
深圳市鹰眼在线电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	检测设备的补偿方法
申请号	CN201610369835.3	申请日期	2016-05-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-09-07	公开/公告号	CN105928946A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8查看分类表>
申请人	深圳市鹰眼在线电子科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区横岗街道联合路13－1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市鹰眼在线电子科技有限公司	当前权利人	深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
发明人	张昕阳;丁晓华;周翔
代理机构	深圳市世纪恒程知识产权代理事务所	代理人	胡海国

摘要

本发明公开一种检测设备的补偿方法，包括以下步骤：在检测设备的工作台上固定一光学标定板，该光学标定板具有XY方向十字交叉的标定标识中心；将工作台的运动方向和光学系统的运动方向在XY方向进行重合比对；将光学系统移动至光学标定板的一个标定标识中心位置点，将光学中心对准标定标识中心，设定该标定标定标识中心位置点为原点；识别标定标识中心到所述光学中心的偏差；针对所述偏差进行评估，补偿和点位较准。本发明通过校准和补偿算法来减少或消除直线运动带来的检测误差，提高了检测精度，解决了现有做法未能将平台以及光学系统的运动姿态误差考虑在标定内的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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