化学药液供给系统和供给方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710123884.3
IPC分类号：B01F5/10;B01F15/02;B01F15/04
申请日期：
2017-03-03
申请人：
吉姆西半导体科技（无锡）有限公司

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著录项信息

专利名称	化学药液供给系统和供给方法
申请号	CN201710123884.3	申请日期	2017-03-03
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2017-06-20	公开/公告号	CN106861485A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01F5/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01F 混合，例如，溶解、乳化、分散（混合颜料入B44D 3/06） B01F5/00 流态混合机（喷射器，喷雾器入B05B）；适于下落材料的混合机，例如，适合于固体颗粒的（B01F 13/04优先，离心混合机入B04） B01F5/10 循环混合机	IPC分类号	B;0;1;F;5;/;1;0;;;B;0;1;F;1;5;/;0;2;;;B;0;1;F;1;5;/;0;4查看分类表>
申请人	吉姆西半导体科技（无锡）有限公司	申请人地址	江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路58号优谷企业园45号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吉姆西半导体科技（无锡）有限公司	当前权利人	吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
发明人	李春;黄荣燕
代理机构	无锡市大为专利商标事务所（普通合伙）	代理人	曹祖良;屠志力

摘要

本发明提供一种化学药液供给系统，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；本发明不仅可以避免在输送药液的过程中吸入空气造成药液混合比例不准确，而且可以提高药液使用率，从而降低成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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