激光干涉抛物面对称测量装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201310417959.0
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2013-09-13
申请人：
中海阳能源集团股份有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	激光干涉抛物面对称测量装置
申请号	CN201310417959.0	申请日期	2013-09-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-01-08	公开/公告号	CN103499307A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	中海阳能源集团股份有限公司	申请人地址	北京市昌平区科技园区超前路17号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中海阳能源集团股份有限公司	当前权利人	中海阳能源集团股份有限公司
发明人	薛黎明;刘伯昂
代理机构	北京中创阳光知识产权代理有限责任公司	代理人	尹振启

摘要

本发明公开了一种激光干涉抛物面对称测量装置，包括测试搭载部和检测部，其中，测试搭载部包括标准反射镜单元和用于接收干涉图样的截取屏，检测部包括光栅屏和固定于其上的激光柱状光源，激光柱状光源设置在光栅屏的中间对称面上，待测反射镜单元与标准反射镜单元也以中间对称面对称安装；以中间对称面为对称，光栅屏上设置有若干对相互平行且能够独立开闭的光栅，一对相互对称的光栅分别对应于待测反射镜单元、标准反射镜单元上相同的曲率片段，若干对相互对称的光栅分别依次对应于镜面上的不同曲率片段。本发明应用槽式抛物面反射镜、双缝干涉的光反射、衍射及干涉原理，以达到通过对称反射逐段检测曲面误差的目的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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