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立式复合径流分子泵

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710137353.X
  • IPC分类号:F04D17/10;F04D29/42
  • 申请日期:
    2017-03-09
  • 申请人:
    苏州摩星真空科技有限公司
著录项信息
专利名称立式复合径流分子泵
申请号CN201710137353.X申请日期2017-03-09
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2017-05-31公开/公告号CN106762713A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F04D17/10IPC分类号F;0;4;D;1;7;/;1;0;;;F;0;4;D;2;9;/;4;2查看分类表>
申请人苏州摩星真空科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市太仓市经济开发区青岛西路38号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州摩星真空科技有限公司当前权利人苏州摩星真空科技有限公司
发明人储继国
代理机构深圳市龙成联合专利代理有限公司代理人周雷
摘要
一种立式复合径流分子泵,包括上端敞口的泵筒,泵筒的侧壁开设有进气口和排气口,泵筒内设有径流抽气单元,径流抽气单元包括转子、静轮和动密封,转子上固设有两平圆盘状的动轮,两动轮平行且间隔设置,静轮设于两动轮之间,静轮与两动轮平行设置,动密封位于下方的动轮的下方,静轮和动密封均固设于泵筒的侧壁上;位于上方的动轮的外侧设有一组涡轮叶列,涡轮叶列由上向下抽气;静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽,静轮的中部未设置隔板。由于立式复合径流分子泵可以从泵筒的上方和侧壁同时抽气,且静轮的中部未设置隔板,因此,径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%,压缩能力提高约50%。

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