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用于金属层的蚀刻组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201610624750.5
IPC分类号：C23F1/18
申请日期：
2016-08-02
申请人：
东友精细化工有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于金属层的蚀刻组合物
申请号	CN201610624750.5	申请日期	2016-08-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-02-22	公开/公告号	CN106435588A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/18 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/10 蚀刻用组合物（C23F 1/44优先）〔4〕 C23F1/14 含水组合物〔4〕 C23F1/16 酸性组合物（C23F 1/42优先）〔4〕 C23F1/18 蚀刻铜或铜合金用的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;1;8查看分类表>
申请人	东友精细化工有限公司	申请人地址	韩国全罗北道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东友精细化工有限公司	当前权利人	东友精细化工有限公司
发明人	鞠仁说;权玟廷;李钟文
代理机构	北京市中伦律师事务所	代理人	石宝忠

摘要

本发明提供用于金属层的蚀刻组合物，其包括：(a)过硫酸盐；(b)氟化合物；(c)无机酸；(d)4‑甲基噻唑；(e)氯化合物；(f)非金属硫酸盐；(g)噻吩化合物；(h)有机酸或其盐；和(i)水。

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