一种高纯涂层式多晶硅坩埚及其涂层的涂刷方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510576916.6
IPC分类号：C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2015-09-12
申请人：
无锡舜阳新能源科技股份有限公司

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专利名称	一种高纯涂层式多晶硅坩埚及其涂层的涂刷方法
申请号	CN201510576916.6	申请日期	2015-09-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-12-16	公开/公告号	CN105154971A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	无锡舜阳新能源科技股份有限公司	申请人地址	江苏省无锡市江阴市长泾镇工业集中区兴园路123号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡舜阳新能源科技股份有限公司	当前权利人	无锡舜阳新能源科技股份有限公司
发明人	钟伟;陆文研
代理机构	江阴大田知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	杨新勇

摘要

本发明涉及一种高纯涂层式多晶硅坩埚及其涂层的涂刷方法，包括坩埚本体，在坩埚本体的表面均布有若干个凹坑或环形凹槽，在表面依次附着有第一氮化层、第二氧化层和第三氮化层；将乳桨状的第一氮化层刷涂在坩埚本体的表面，将第二氧化层粉末状的氧化硅喷出在乳桨的表面，再通过喷涂方式将雾状的氮化硅喷涂于第二氧化层的表面，直至第二氧化层的颗粒被覆盖，第三氮化层形成光滑面。所述高纯涂层式多晶硅坩埚及其涂层的涂刷方法具有涂层覆盖能力强，稳定性高，具有高隔离度，防止坩埚本体在制备多晶硅过程中参与反应的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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