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用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310006315.2
  • IPC分类号:H01S3/136;H01S3/13
  • 申请日期:
    2013-01-08
  • 申请人:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置
申请号CN201310006315.2申请日期2013-01-08
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-05-01公开/公告号CN103078247A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S3/136IPC分类号H;0;1;S;3;/;1;3;6;;;H;0;1;S;3;/;1;3查看分类表>
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所申请人地址
上海市嘉定区800-211邮政信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所当前权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人袁志军;张海波;周军;楼祺洪;魏运荣
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人张泽纯
摘要
一种用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置,该装置由分光器、可调狭缝、高精度光谱仪、线宽反馈控制系统组成。本发明能对准分子激光器输出激光的线宽进行稳定的控制,具有使用方便、结构简单、对准分子激光器线宽连续调节的特点。

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