一种Plasma机器均匀性测试方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011523718.0
IPC分类号：G01M99/00
申请日期：
2020-12-22
申请人：
东莞美维电路有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种Plasma机器均匀性测试方法
申请号	CN202011523718.0	申请日期	2020-12-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-11	公开/公告号	CN112781901A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M99/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M99/00 本小类其他组中不包括的技术主题〔2011.01〕	IPC分类号	G;0;1;M;9;9;/;0;0查看分类表>
申请人	东莞美维电路有限公司	申请人地址	广东省东莞市东城区外经工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞美维电路有限公司	当前权利人	东莞美维电路有限公司
发明人	徐慧娟
代理机构	北京风雅颂专利代理有限公司	代理人	范小凤

摘要

一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：步骤一、准备若干测试片，将测试片烘烤后放进干燥皿里冷却至常温后称重并做标记；步骤二、将测试片分别放进覆铜治具板内；步骤三、将覆铜冶具板及若干覆铜假板以一定规律放入于Plasma机内；步骤四、Plasma测试；步骤五、Plasma做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片进行烘烤，之后放进干燥皿里进行冷却至常温，再对测试片进行称重；步骤六、结果计算，九个区域的测试结果百分比均需≥70％才算合格。本发明对整个Plasma机的均匀性及生产产品时的稳定性，进行全方面的评估和监控，从而可确保Plasma机投入量产时性能稳定、产品质量稳定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供