基板导电布线切断方法及装置、电子装置制造方法及装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02147137.1
IPC分类号：--
申请日期：
2002-10-24
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基板导电布线切断方法及装置、电子装置制造方法及装置
申请号	CN02147137.1	申请日期	2002-10-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-04-30	公开/公告号	CN1414827
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	梅津一成;尼子淳;本田贤一
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	刘宗杰;叶恺东

摘要

导电布线切断装置10具备：发生激光的激光发生装置1；使由激光发生装置1发生的激光分支成多条光束的光束分支元件3；以及对于由光束分支元件3分支了的各分支光束进行聚焦的聚焦元件(可兼作光束分支元件3)。再有，作为聚焦元件也可以具备与光束分支元件3分体的聚焦透镜。此外，也可以作成可以调整分支光束的功率及焦点深度的结构。在基板对于激光具有透过性的情况下，也可以从与导电布线形成面相反面照射分支光束。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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