近场偏振光扫描探针显微镜

发明专利有效专利

申请号：
CN201610167405.3
IPC分类号：G01Q60/18
申请日期：
2016-03-23
申请人：
上海理工大学

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著录项信息

专利名称	近场偏振光扫描探针显微镜
申请号	CN201610167405.3	申请日期	2016-03-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-05-18	公开/公告号	CN105588954A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/18 SNOM 〔扫描近场光学显微术〕或其设备，例如，SNOM探针〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;1;8查看分类表>
申请人	上海理工大学	申请人地址	上海市杨浦区军工路516号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海理工大学	当前权利人	上海理工大学
发明人	金涛;沈璐
代理机构	上海申汇专利代理有限公司	代理人	吴宝根;王晶

摘要

本发明涉及一种近场偏振光扫描探针显微镜，具有一条近场光学探测光路，所述近场光学探测光路中由He‑Ne激光器发出的一束线偏振光依次经过四分之一波片A、分光棱镜、物镜A、探针至载物台形成近场光学产生光路；从探针反射的反射光依次经过物镜A、分光棱角、四分之一波片B、格兰泰棱镜、物镜，由光电接收器接收至图像显示系统。本发明能有效抑制远场背景光，提高近场光的信噪比，且能达到小于10纳米的空间分辨率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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