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一种同步提升移入移出机构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310075487.5
  • IPC分类号:B66F7/00;B66F3/16;B66F3/18;B66F3/46
  • 申请日期:
    2013-03-11
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种同步提升移入移出机构
申请号CN201310075487.5申请日期2013-03-11
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2014-09-17公开/公告号CN104045019A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B66F7/00IPC分类号B;6;6;F;7;/;0;0;;;B;6;6;F;3;/;1;6;;;B;6;6;F;3;/;1;8;;;B;6;6;F;3;/;4;6查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人王凯
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅
摘要
一种同步提升移入移出机构,包括提升支柱、传动机构、移入移出机构和手柄;所述传动机构驱动所述移入移出机构沿所述提升支柱上下运动;所述移入移出机构包括移动承重横梁和移入移出驱动机构;所述移动承重横梁包括横梁和滑轨,所述滑轨包括设置在所述横梁两侧的轨道和设置所述轨道外侧的滑槽;所述移入移出驱动机构与所述滑槽连接,驱动所述滑槽在所述滑轨上滑动;所述手柄与所述传动机构连接。

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