镭射母版及制造该镭射母版的光刻机

发明专利有效专利

申请号：
CN201410097075.6
IPC分类号：B41N1/00;G03F7/20
申请日期：
2014-03-13
申请人：
广东东南薄膜科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	镭射母版及制造该镭射母版的光刻机
申请号	CN201410097075.6	申请日期	2014-03-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-18	公开/公告号	CN103862908A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B41N1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B4 印刷 B41 印刷；排版机；打字机；模印机〔4〕 B41N 印版或箔（光敏材料入G03）；印刷机上印刷、着墨、润湿用的表面材料；上述所用表面的制备和保存 B41N1/00 印版或箔；及其所用材料	IPC分类号	B;4;1;N;1;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	广东东南薄膜科技股份有限公司	申请人地址	广东省汕头市龙湖区珠津工业区玉津南路9号东南工业城变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东东南薄膜科技股份有限公司	当前权利人	广东东南薄膜科技股份有限公司
发明人	蔡旭楠;李晓笙
代理机构	汕头市潮睿专利事务有限公司	代理人	郭晓刚;俞诗永

摘要

一种镭射母版，包括镭射母版本体，所述镭射母版本体工作面上有全息图案，全息图案包括多个形成周期性渐变光柱单元体全息图的光柱周期性像素点单元，全息图案中至少一个区域中部分像素点单元为局部素描图案光柱体标识的标识像素点单元，标识像素点单元光栅条纹深线的凹凸规律与光柱周期性像素点单元光栅条纹深线的凹凸规律不同，从而产生局部素描图案光柱体标识。光刻机包括激光器、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜、玻璃光栅片，所述激光器、玻璃光栅片、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜依次呈光学配合排列。本发明能够实现具有宽幅镭射光柱素描水印定位标识全息图的镭射母版制作。

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