一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510044188.4
IPC分类号：G01N19/04
申请日期：
2015-01-28
申请人：
西安交通大学

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著录项信息

专利名称	一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法
申请号	CN201510044188.4	申请日期	2015-01-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-06-03	公开/公告号	CN104677819A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N19/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N19/00 用机械方法测试材料（G01N 3/00至G01N 17/00优先） G01N19/04 测量材料之间的附着力，例如密封带的，涂层的	IPC分类号	G;0;1;N;1;9;/;0;4查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市咸宁路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	黄平;周青;王飞;徐可为
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	陆万寿

摘要

本发明涉及了一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法，该方法采用层片状薄膜试样作为测试样品，采用应变速率可控的纳米压痕仪试验装置，采用纳米压入仪，压头为三棱锥金刚石压头,控制应变速率为0.2s‑1,压入深度为薄膜膜厚的80％或以上，测量在加载结束后压痕截面处膜基间界面裂纹的长度，即可计算出金属纳米多层膜材料的附着能。本方法可以简单、方便、快捷地评价纳米多层膜的附着能，为解决纳米多层膜薄膜附着能力的评估提供了有效途径。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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