芯片烘干系统及芯片载盘

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721313218.8
IPC分类号：F26B9/10;F26B21/00;F26B21/10;H01L21/67
申请日期：
2017-10-12
申请人：
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	芯片烘干系统及芯片载盘
申请号	CN201721313218.8	申请日期	2017-10-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F26B9/10 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F26 干燥 F26B 从固体材料或制品中消除液体的干燥（联合收割机的干燥装置入A01D 41/133；干燥果实或疏菜用的框架入A01F 25/12；干燥食品入A23；干燥头发入A45D 20/00；干燥身体的器具入A47K 10/00；干燥家庭物品入A47L；干燥气体或蒸汽入B01D；脱水或类似的从固体分离出液体的化学或物理方法入B01D 43/00；离心设备入B04；干燥陶瓷器入C04B 33/30；与其他处理方式结合的干燥纱线或纤维入D06C；没有加热或正向空气循环的洗衣用干燥框架，家用洗衣干燥机或旋转式脱水机，拧干或热压洗衣入D06F；炉、窑、烘烤炉入F27） F26B9/00 静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备；家用晾晒柜 F26B9/10 在露天中；在室内盘状容器或台架中；干燥松散材料堆	IPC分类号	F;2;6;B;9;/;1;0;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0;;;F;2;6;B;2;1;/;1;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业园）D栋研发办变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司	当前权利人	深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
发明人	文鸥;张勇
代理机构	深圳市康弘知识产权代理有限公司	代理人	尹彦;胡朝阳

摘要

本实用新型公开了一种芯片烘干系统及芯片载盘，其中芯片烘干系统包括：托盘；设置于所述托盘内的芯片载盘，所述芯片载盘包括底壁和侧壁，所述底壁与所述侧壁形成容置空间，所述容置空间内设置有支撑结构，芯片放置在所述支撑结构上并与所述底壁之间形成空腔，所述芯片侧面与侧壁之间具有间隙；对所述芯片进行烘干的烘干装置，其设置在所述托盘的正上方。本实用新型的空腔在芯片进行烘干的过程中可以保证通风良好，不让水珠聚集，具有很好的烘干效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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