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半导体薄膜太阳能电池的制造系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201010149892.3
IPC分类号：H01L31/18
申请日期：
2010-04-19
申请人：
福建欧德生光电科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	半导体薄膜太阳能电池的制造系统和方法
申请号	CN201010149892.3	申请日期	2010-04-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-20	公开/公告号	CN102024870A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	福建欧德生光电科技有限公司	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福建欧德生光电科技有限公司,北京精诚铂阳光电设备有限公司	当前权利人	福建欧德生光电科技有限公司,北京精诚铂阳光电设备有限公司
发明人	林朝晖;李晓常
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种半导体薄膜太阳能电池的制造系统和方法，能够在热化学反应生成化合物薄膜的过程中提供连续、平稳的热化学变温反应条件，特别适合于高量产、连续、稳定可控地制造铜铟镓硒多晶薄膜太阳能电池的吸收层。

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