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FOUP开闭装置和探针装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910165206.9
  • IPC分类号:H01L21/673;H01L21/677
  • 申请日期:
    2009-08-13
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称FOUP开闭装置和探针装置
申请号CN200910165206.9申请日期2009-08-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-02-17公开/公告号CN101651112
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人带金正
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明提供一种FOUP开闭装置,其能够搬入FOUP,有效地活用FOUP盖体打开的区域的下方空间。设有载置台(13),该载置台(13)具备移动机构(61)和旋转机构(40),用于载置FOUP(100),具有包括晶片(W)的交接口(11d)和开闭并保持FOUP(100)的盖体(91)的盖体开闭机构(42)的框体(11a),通过在盖体开闭机构(42)上安装而卸下FOUP(100)的盖体(91),使FOUP(100)的朝向向着交接口(11d)而旋转。由此,可以将FOUP(100)的盖体(91)保持在框体(11a)上,由于不需要将盖体(91)保持在装载口(11)的下方区域,所以可以有效地活用下方区域。

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