涡旋式真空泵用端部密封装置及具有此密封装置的真空泵装置

发明专利无效专利

申请号：
CN99800149.X
IPC分类号：--
申请日期：
1999-02-11
申请人：
凡利安股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	涡旋式真空泵用端部密封装置及具有此密封装置的真空泵装置
申请号	CN99800149.X	申请日期	1999-02-11
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2000-06-14	公开/公告号	CN1256743
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	凡利安股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安捷伦科技股份有限公司	当前权利人	安捷伦科技股份有限公司
发明人	H·T·克拉克;A·G·李帕特
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	胡晓萍

摘要

一种在一涡旋式真空泵中所用的端部密封装置，它包括一密封件和一附着到密封件上的增能件。涡旋式真空泵包括第一和第二涡旋叶片，它们套在一起以构成一个或多个叶片组内空穴，以及一偏心驱动装置，可使第一涡旋叶片相对第二涡旋叶片产生轨迹运动。第一和第二涡旋叶片至少之一具有沿其边缘的密封槽。端部密封装置位于第一和第二涡旋叶片之间的密封槽中。增能件由具有多个压缩孔隙的弹性材料制成，当受到密封槽限制时，具有压缩孔隙的增能件比单独的弹性材料更易压缩，增能件是微孔尿烷泡沫材料。在另一个实施例中，增能件是具有预定孔隙图案的弹性体材料。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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