一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201220152170.8
IPC分类号：G01M11/00
申请日期：
2012-04-12
申请人：
科纳技术（苏州）有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统
申请号	CN201220152170.8	申请日期	2012-04-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	科纳技术（苏州）有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区启明路158号综合保税区B区建屋第四号厂房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	科纳技术（苏州）有限公司	当前权利人	科纳技术（苏州）有限公司
发明人	邹建兵;刘宏欣;陈志超;刘华;袁海骥
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种可以准确地测试出闪耀光栅每个区域的沟槽微结构变异情况的闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统。本实用新型从光源模块发出的多波长宽光源以特定的入射角射入闪耀光栅，经闪耀光栅衍射后的光通过一个梳妆滤波器，梳妆滤波器滤出的波长再经由光谱仪接收，最后通过由Labview编写的程序对光谱仪接收到的波形进行数据分析来判断闪耀光栅的沟槽微结构变异情况。本实用新型的使用能够克服传统方法测试闪耀光栅沟槽微结构变异使用SEM、LSCM等昂贵的测试设备，测试范围小、测试速度慢和无法实现自动化等缺点，成本低、速度快，适用于大型企业和科研机构对闪耀光栅的沟槽微结构变异情况进行测试。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供