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半导体器件及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610907124.7
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L29/78;H01L27/092;H01L29/161
  • 申请日期:
    2016-10-19
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称半导体器件及其制造方法
申请号CN201610907124.7申请日期2016-10-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-07-28公开/公告号CN106992154A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2;;;H;0;1;L;2;9;/;1;6;1查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人王圣祯;游佳达;李凯璿;杨世海
代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司代理人章社杲;李伟
摘要
在半导体器件的制造中,形成第一半导体层和第二半导体层的堆叠件。通过图案化第一半导体层和第二半导体层形成鳍结构。在鳍结构的底部分上形成覆盖层以覆盖鳍结构的底部的侧壁和鳍结构的上部的侧壁的底部分。形成绝缘层,从而使得鳍结构嵌入在绝缘层内。去除上部的部分,从而在绝缘层中形成开口。在开口中的第二半导体层的剩余的层上形成第三半导体层。使绝缘层凹进,从而使得从绝缘层暴露第三半导体层的部分,并且形成栅极结构。本发明的实施例还涉及半导体器件及其制造方法。

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