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加工基板的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910782502.7
  • IPC分类号:H01L21/78;H01L21/683
  • 申请日期:
    2019-08-23
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称加工基板的方法
申请号CN201910782502.7申请日期2019-08-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-03-03公开/公告号CN110858564A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/78IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人卡尔·海因茨·普利瓦西尔;长冈健辅
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人王小东;黄纶伟
摘要
本发明涉及加工基板(W)的方法。基板(W)具有一个面(1)和与该面(1)相反的面(6)。基板(W)在所述面(1)上或者在与该面(1)相反的面(6)上具有至少一个凹部(7)。该方法包括:提供保护膜(4),并将保护膜(4)施加至基板(W)的具有至少一个凹部(7)的面上,使得保护膜(4)的正表面(4a)的至少中央区域与基板(W)的具有至少一个凹部(7)的面直接接触。该方法还包括:向保护膜(4)施加压力,使得保护膜(4)沿所述至少一个凹部(7)的深度的至少一部分进入凹部(7)中;以及对基板(W)的所述面(1)和/或与该面(1)相反的面(6)进行加工。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供