往复直线加旋转运动研磨抛光装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200810010706.0
IPC分类号：B24B29/00;H01L21/304
申请日期：
2008-03-20
申请人：
沈阳材佳机械设备有限公司

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著录项信息

专利名称	往复直线加旋转运动研磨抛光装置
申请号	CN200810010706.0	申请日期	2008-03-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-08-27	公开/公告号	CN101249632
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B29/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B29/00 有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置（使用砂带磨削或抛光入B24B 21/00）〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;2;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	沈阳材佳机械设备有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市浑南新区新隆街9号A103室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	沈阳材佳机械设备有限公司	当前权利人	沈阳材佳机械设备有限公司
发明人	张莹
代理机构	沈阳技联专利代理有限公司	代理人	张志刚

摘要

往复直线加旋转运动研磨抛光装置，涉及一种材料加工设备，该装置包括研磨抛光盘、回转体、研磨抛光盘驱动电机、载料盘、载料盘支架、主动支架导轮、被动支架导轮、导轮驱动电机、直线导轨座、导轨驱动电机、偏心拨杆和修整环，其中粘有被磨抛材料的载料盘面向放置在研磨抛光盘的盘面上，研磨抛光盘与研磨抛光盘驱动电机相连接，回转体与研磨抛光盘相连接，载料盘外径套有修整环，修整环置于主动支架导轮和被动支架导轮之中，载料盘支架与直线导轨座平行连接，直线导轨座通过驱动电机主轴上的圆盘偏心拨杆与导轨驱动电机相连接。本发明解决了被磨抛材料“心高”片面凹凸大，片子平整度不高、平行度不好的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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