一种终点检测装置、蚀刻设备以及检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010453841.3
IPC分类号：G01M11/02;G01J1/02;G01J1/08;G01J1/16;G01J3/443;G01J3/02;G01J3/28;H01L21/67;H01L21/66
申请日期：
2020-05-26
申请人：
重庆康佳光电技术研究院有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种终点检测装置、蚀刻设备以及检测方法
申请号	CN202010453841.3	申请日期	2020-05-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-28	公开/公告号	CN113447243A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2;;;G;0;1;J;1;/;0;2;;;G;0;1;J;1;/;0;8;;;G;0;1;J;1;/;1;6;;;G;0;1;J;3;/;4;4;3;;;G;0;1;J;3;/;0;2;;;G;0;1;J;3;/;2;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	重庆康佳光电技术研究院有限公司	申请人地址	重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号(1号厂房) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重庆康佳光电技术研究院有限公司	当前权利人	重庆康佳光电技术研究院有限公司
发明人	林帅;张彬彬;苟先华;伍凯义;苏财钰
代理机构	深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陈专;徐凯凯

摘要

本发明涉及一种终点检测装置、蚀刻设备及检测方法。所述终点检测装置包括：石英件、第一滤光片、第二滤光片以及光检测模块，本发明提供的终点检测装置通过设置分别用于加工产生的光和检测光源发出的光通过的第一滤光片和第二滤光片，以及用于检测通过所述第一滤光片和所述第二滤光片的光的强度的光检测模块，能够实现加工过程中的终点检测功能，同时能够通过检测通过第二滤光片的光的强度是否与检测光源发出的光的强度一致来实现自检。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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