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一种抗振动差分式干涉声敏检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202010864084.9
IPC分类号：G01H9/00G01N21/17G01B11/02G01L1/24
申请日期：
2020-08-25
申请人：
北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司;中国人民解放军92578部队

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专利名称	一种抗振动差分式干涉声敏检测装置
申请号	CN202010864084.9	申请日期	2020-08-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-01-22	公开/公告号	CN112254799A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01H9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01H 机械振动或超声波、声波或次声波的测量〔4〕 G01H9/00 应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波	IPC分类号	G01H9/00;G01N21/17;G01B11/02;G01L1/24查看分类表>
申请人	北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司;中国人民解放军92578部队	申请人地址	北京市丰台区北京市9200信箱7*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司,中国人民解放军92578部队	当前权利人	北京遥测技术研究所,航天长征火箭技术有限公司,中国人民解放军92578部队
发明人	周建发;彭泳卿;陈科;李杨;黄彦;杜度;郑林;张宇露;刘蓓;郗洪柱;钟亮;蒙瑰;高志强
代理机构	中国航天科技专利中心	代理人	马全亮

摘要

本发明公开了一种抗振动差分式干涉声敏检测装置，包括半导体激光光源、准直透镜、图像传感器、分束器、图像传感器、压力敏感膜片、窄带滤波片。压力敏感膜片上有两个长、宽、高完全一致的两个悬臂梁构成。本发明利用特性完全一致的悬臂梁，结合对称光路结构，建立光程差相同的干涉路径，相互抵消外界振动引起的相位差，差分输出后仅保留膜片表面的动态压力差信号，实现抗交叉的高灵敏声压检测。本声敏检测装置具有抗振动、结构简单、高灵敏等优点，适用于光声光谱气体、液体检测应用，可以用于光谱分析、仪器分析等领域动态声压、热力波的检测。

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