一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201310018343.6
IPC分类号：C30B31/16;H01L21/223
申请日期：
2013-01-17
申请人：
陈功

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专利名称	一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置
申请号	CN201310018343.6	申请日期	2013-01-17
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-08	公开/公告号	CN103088431A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B31/16 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置〔3，5〕 C30B31/06 同气态扩散材料接触的（C30B 31/18优先）〔3〕 C30B31/16 气体供给或排出的装置；气流的变换〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;1;/;1;6;;;H;0;1;L;2;1;/;2;2;3查看分类表>
申请人	陈功	申请人地址	浙江省湖州市长兴县县前东街1299号浙江长兴众成电子有限公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陈功	当前权利人	陈功
发明人	陈功
代理机构	杭州华鼎知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	胡根良

摘要

本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，包括缓冲箱与抽风管，该缓冲箱包括方形的缓冲箱体，缓冲箱内壁涂覆有特氟龙涂层，缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，密封门右侧与缓冲箱体铰接，密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，密封门上设有导流结构，缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口；该抽风管为U形管，抽风管一端设置进风口，抽风管另一端设有高于进风口的出风口并连接抽风机，磷扩散炉的炉管通过炉管开口伸入缓冲箱，抽风管进风口通过抽风管开口与缓冲箱连通。本发明可以利用自然空气和雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层，同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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