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基板处理装置、开闭基板收容容器的盖的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980071030.2
  • IPC分类号:H01L21/677;H01L21/02
  • 申请日期:
    2019-10-23
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称基板处理装置、开闭基板收容容器的盖的方法
申请号CN201980071030.2申请日期2019-10-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-08公开/公告号CN112930592A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人远藤荣几;高塚宏行;向山达也
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇
摘要
基板处理装置具有基板处理部和控制部。基板处理部具有加载埠,该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器。基板处理部构成为从配置于加载埠的基板收容容器取出基板,并且对该基板实施一系列的处理。控制部构成为控制配置于加载埠的基板收容容器的盖的开闭。在将基板收容容器配置于加载埠后,控制部控制为打开盖。在基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且在从基板收容容器取出的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下,控制部控制为关闭盖。

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