单元式独控箱体结构

发明专利无效专利

申请号：
CN201710020466.1
IPC分类号：B65D81/18;B65D81/20;B65D85/50
申请日期：
2017-01-11
申请人：
华天科技（昆山）电子有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	单元式独控箱体结构
申请号	CN201710020466.1	申请日期	2017-01-11
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-06-13	公开/公告号	CN106829201A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65D81/18 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65D 用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件 B65D81/00 用于存在特殊运输或贮存问题的装入物，或适合于在装入物取出后用于非包装目的的容器、包装元件或包装件 B65D81/18 为内装物提供特殊环境，例如高于或低于室温（具有绝热层入B65D 81/38；具有冷却装置的冰箱入F25D）〔6〕	IPC分类号	B;6;5;D;8;1;/;1;8;;;B;6;5;D;8;1;/;2;0;;;B;6;5;D;8;5;/;5;0查看分类表>
申请人	华天科技（昆山）电子有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路112号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华天科技（昆山）电子有限公司	当前权利人	华天科技（昆山）电子有限公司
发明人	肖智轶;王强华;吕汉文
代理机构	昆山四方专利事务所	代理人	盛建德;段新颖

摘要

本发明提出一种单元式独控箱体结构，将整体式的存储柜分割成多个独立的腔室，每个腔室连通对其抽真空的真空泵和对其破真空的破真空气源，并采用智能控制系统对抽真空及破真空过程进行智能控制，实现了真空智能存储晶圆的功能，相比传统的氮气柜，本发明晶圆存储全过程处于真空状态，可保证氧含量达到10ppm，杜绝晶圆在存储过程中的氧化问题，且晶圆存储过程无需使用氮气，大大节约成本，每个腔室的存取操作不影响其他腔室，降低运营成本；此外，控制系统更具智能化，有储存历史状态供查询，可自动保存各腔室当前或历史所存储的晶圆批号及其储存时间，方便后续追溯。人机操作界面采用触摸屏及扫描枪，操作方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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