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一种组合合成锆钛酸铅薄膜的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110045681.X
  • IPC分类号:C04B35/491;C04B35/622
  • 申请日期:
    2011-02-24
  • 申请人:
    中国地质大学(武汉)
著录项信息
专利名称一种组合合成锆钛酸铅薄膜的方法
申请号CN201110045681.X申请日期2011-02-24
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2011-09-07公开/公告号CN102173796A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C04B35/491IPC分类号C;0;4;B;3;5;/;4;9;1;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2查看分类表>
申请人中国地质大学(武汉)申请人地址
湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国地质大学(武汉)当前权利人中国地质大学(武汉)
发明人何岗;赵德森;何明中;洪建和
代理机构武汉华旭知识产权事务所代理人刘荣;周宗贵
摘要
本发明公开了一种组合合成锆钛酸铅薄膜的方法,属于功能陶瓷薄膜领域。该方法是:将配制好的含铅钛的混合液A与含铅锆的混合液B按比例混合,得到前驱溶液,然后采用旋转涂膜法在Si/SiO2/Ti/Pt(111)基片上涂膜,最后在纯氧气氛中快速退火,得到锆钛酸铅薄膜。本发明方法仅需两种前驱溶液制备出了组成系列变化的锆钛酸铅薄膜,在批量制备中减少了前驱溶液的数量,有效的简化了前驱溶液的配制过程,特别是在梯度材料的制备中,可以大幅缩短制备周期。

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