新型水平滑动石墨舟

实用新型专利有效专利

申请号：
CN88201086
IPC分类号：--
申请日期：
1988-02-05
申请人：
清华大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	新型水平滑动石墨舟
申请号	CN88201086	申请日期	1988-02-05
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	孙成城;薛保兴;何淑芳
代理机构	清华大学专利事务所	代理人	廖元秋;胡兰芝

摘要

一种新型水平滑动石墨舟，属于半导体光电子学领域的半导体工艺设备的改进，其特点在于溶液池为圆形且尺寸需计算得出，目的在于当所需溶剂放入池内熔化后溶液外边界与池的内边界密合，以保证其后加入的熔质和掺杂物完全被溶液所包熔。实验表明，这种舟生长出的外延片表面光亮、结线平整、晶格匹配，从而大大提高了光电器件的成品率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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