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一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810526266.8
  • IPC分类号:C23C14/02;C23C14/32;C23C14/06;F16K31/12
  • 申请日期:
    2018-05-28
  • 申请人:
    苏州市启献智能科技有限公司
著录项信息
专利名称一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺
申请号CN201810526266.8申请日期2018-05-28
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2018-11-06公开/公告号CN108754416A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/02IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;2;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;F;1;6;K;3;1;/;1;2查看分类表>
申请人苏州市启献智能科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市太仓市开发区北京东路88号中A幢4楼23号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州瑞领克信息科技有限公司当前权利人苏州瑞领克信息科技有限公司
发明人陈荣琴
代理机构苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人暂无
摘要
本发明公开了一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺,包括步骤(1),提供一导向杆的碳素钢基材,打磨其表面后放置于酸性溶液中,洗涤后再水洗干燥;步骤(2),利用霍尔气体离子源对预处理后的基材进行气体轰击来强化基材表面,步骤(3),采用Nd:YAG脉冲激光打孔器在基材表面打圆孔;步骤(4),采用磁过滤沉积技术在基材表面分别沉积ZrB2靶和MoS2靶,形成涂覆于基材表面的固体涂层,进而得到表面工艺处理后的导向杆。本发明制备得到的气动执行器应用的导向杆,具备优良的耐磨性、优异的耐腐蚀性、自润滑性和良好的硬度。

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