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射频压电谐振器空气反射腔的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010148858.8
IPC分类号：H03H3/02;H03H9/15
申请日期：
2020-03-05
申请人：
合肥先微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）;合肥尔微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）

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法律信息

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著录项信息

专利名称	射频压电谐振器空气反射腔的制备方法
申请号	CN202010148858.8	申请日期	2020-03-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-07	公开/公告号	CN113364419A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H3/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H3/00 专用于制造阻抗网络、谐振电路、谐振器的设备或方法 H03H3/007 用于制造机电谐振器或网络〔3〕 H03H3/02 用于制造压电或电致伸缩谐振器或网络（H03H 3/08优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;3;/;0;2;;;H;0;3;H;9;/;1;5查看分类表>
申请人	合肥先微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）;合肥尔微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）	申请人地址	安徽省合肥市庐阳区临泉路与凤淮路交口枫林雅苑1#901 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥先微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）,合肥尔微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）	当前权利人	合肥先微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）,合肥尔微企业管理咨询合伙企业（有限合伙）
发明人	陈真;刘晓军;韩娜
代理机构	上海段和段律师事务所	代理人	李佳俊;郭国中

摘要

本发明提供了射频压电谐振器空气反射腔的制备方法，包括：在衬底层的上表面形成空气反射腔所需形状的牺牲层，在牺牲层外侧形成射频压电谐振器，然后刻蚀去除牺牲层；或者，在凹形的衬底层的凹槽中填充牺牲层材料形成牺牲层，在牺牲层外侧形成射频压电谐振器，然后刻蚀去除牺牲层。本发明提供的两种射频压电谐振器空气反射腔的制备方法填补了空气腔体制备的空白。

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