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电极结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010297916.X
  • IPC分类号:H01J37/04
  • 申请日期:
    2010-09-27
  • 申请人:
    友达光电股份有限公司
著录项信息
专利名称电极结构
申请号CN201010297916.X申请日期2010-09-27
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2011-03-02公开/公告号CN101982868A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J37/04IPC分类号H;0;1;J;3;7;/;0;4查看分类表>
申请人友达光电股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人友达光电股份有限公司当前权利人友达光电股份有限公司
发明人吴仲尧;徐弘迪;杨总胜;陈信宏;魏仲立;廖本毅;江舜彦;陈俊荣;廖仁助;陈璟桦;张皓岚;宋嘉恩;陈振维;杨胜淼;曾景义;陈冠字;陈厚任;王春盛
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陈小雯
摘要
本发明公开一种电极结构,其适于承载一基板。电极结构包括一电极部。电极部具有一正面、一与正面相对的背面以及多个贯通正面与背面的冷却气体通入孔,其中冷却气体通入孔沿着多条参考线配置,各参考线是从电极部的中心延伸至电极部的边缘,且排列于同一条参考线上的冷却气体通入孔的排列间距是先递减再递增。

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