等离子体处理装置及等离子体处理方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110404343.4
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2021-04-15
申请人：
东京毅力科创株式会社

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著录项信息

专利名称	等离子体处理装置及等离子体处理方法
申请号	CN202110404343.4	申请日期	2021-04-15
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-29	公开/公告号	CN113571403A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	永海幸一
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	徐殿军

摘要

本发明的等离子体处理装置具备腔室、基板支承器及电源系统。基板支承器具有电极，构成为在腔室内支承基板。电源系统与电极电连接。电源系统构成为在第1期间将第1脉冲作为偏置电压输出至电极，并在第1期间之后的第2期间将第2脉冲作为偏置电压输出至电极。第1脉冲及第2脉冲分别为电压的脉冲。第1脉冲的电压电平与第2脉冲的电压电平不同。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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