检测装置与用于此检测装置的检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200810188889.5
IPC分类号：G02F1/13;G01M11/02
申请日期：
2008-12-30
申请人：
友达光电股份有限公司

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著录项信息

专利名称	检测装置与用于此检测装置的检测方法
申请号	CN200810188889.5	申请日期	2008-12-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-06-03	公开/公告号	CN101446699
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/13 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	友达光电股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	友达光电股份有限公司	当前权利人	友达光电股份有限公司
发明人	张献宜
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	梁挥;祁建国

摘要

本发明公开了一种检测装置与用于此检测装置的检测方法，该检测装置包括移动平台、扫描模块、复检模块及定位模块，该移动平台适于使基板沿第一方向来回移动。扫描模块与复检模块配置于移动平台上方，复检模块包括可移动的第一图像感测组件。定位模块配置于移动平台侧边，且包括具有至少二光感测组件的光感测组件组。扫描模块用以检测基板上缺陷的位置，定位模块根据缺陷的位置使光感测组件组移动至适当位置。移动平台在其中一光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在另一光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。复检模块根据缺陷的位置移动第一图像感测组件，以复检基板上的缺陷。

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