一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011042603.X
IPC分类号：H01M4/08H01M4/04H01M4/38H01M4/42H01M6/04H01M6/00H01M2/14H01M2/16C23C14/06C23C14/35C23C14/16
申请日期：
2020-09-28
申请人：
华北水利水电大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法
申请号	CN202011042603.X	申请日期	2020-09-28
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-12-25	公开/公告号	CN112133884A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01M4/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01M 用于直接转变化学能为电能的方法或装置，例如电池组〔2〕（一般电化学的方法或装置入C25；用于转变光或热为电能的半导体或其他固态器件入H01L，例如H01L 31/00，H01L 35/00，H01L 37/00）〔2〕 H01M4/00 电极〔2〕 H01M4/02 由活性材料组成或包括活性材料的电极〔2〕 H01M4/06 一次电池的电极〔2〕 H01M4/08 制造方法〔2〕	IPC分类号	H01M4/08;H01M4/04;H01M4/38;H01M4/42;H01M6/04;H01M6/00;H01M2/14;H01M2/16;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/16查看分类表>
申请人	华北水利水电大学	申请人地址	河南省郑州市金水区北环路*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华北水利水电大学	当前权利人	华北水利水电大学
发明人	倪增磊;高志廷;王艳红
代理机构	洛阳公信知识产权事务所（普通合伙）	代理人	李现艳

摘要

一种三维微型传感器用微纳原电池的制备方法，所述微纳原电池包括金属阳极层、绝缘层、阴极层、电解质通孔和阳极孔，其制备方法包括以下步骤：采用直流偏压模式在硅体上生长制备出厚度为400~500μm的金属阳极层；采用射频模式在金属阳极上制备厚度为200~1000nm的绝缘层；生长石墨阴极层，石墨厚度为2~3μm；在高浓度等离子刻蚀机上，使用Cl2气体为刻蚀气体，在金属阳极层上先刻蚀阳极孔，再刻蚀电解质通孔；划片，切割；本发明通过将二维边沿电池变成三维微纳原电池，并采用阳极孔倒置方式，使得雨水等杂物脱离了阳极孔，从而将电池的使用性能提高50%。