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一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510566078.4
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2015-09-08
  • 申请人:
    沈阳拓荆科技有限公司
著录项信息
专利名称一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板
申请号CN201510566078.4申请日期2015-09-08
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2017-03-15公开/公告号CN106505009A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人沈阳拓荆科技有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市浑南区水家900号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人拓荆科技股份有限公司当前权利人拓荆科技股份有限公司
发明人陈英男;姜崴;关帅;郑旭东
代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)代理人甄玉荃;霍光旭
摘要
本发明属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域,具体涉及一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板,包括陶瓷挡板本体、金属夹紧结构和支撑杆,所述陶瓷挡板本体的外围下部设有一体制造的突出部,突出部上有螺钉孔,金属夹紧结构由锁紧螺钉、锁紧垫片、上固定块和下固定块组成,其中锁紧垫片和上固定块上都设有贯穿的螺钉孔,下固定块上表面有螺纹孔,下表面设有销孔,支撑杆能够与销孔形成间隙配合,使陶瓷挡板、金属夹紧结构和支撑杆成为一个整体,使该结构在反应腔室特殊环境下,陶瓷材料与金属的连接不会受热胀裂,不会连接失效,不会发生放电等现象,保证薄膜沉积工艺的顺利进行。

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