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用于集成电路测试的纳米管探针结构

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02260482.0
IPC分类号：--
申请日期：
2002-10-08
申请人：
许明慧

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于集成电路测试的纳米管探针结构
申请号	CN02260482.0	申请日期	2002-10-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	许明慧	申请人地址	台湾省新竹县竹东镇二重里18邻自由街9号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	许明慧	当前权利人	许明慧
发明人	许明慧
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种用于集成电路测试的奈米管探针结构，包括有一基板及至少一连接于该基板的探测板，该探测板相对于待测晶片处设有探测元件，该探测元件由多根纳米碳管构成。

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