化学机械研磨浆液组合物及其使用方法

发明专利有效专利

申请号：
CN02145989.4
IPC分类号：C09K3/14
申请日期：
2002-10-31
申请人：
长兴化学工业股份有限公司

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著录项信息

专利名称	化学机械研磨浆液组合物及其使用方法
申请号	CN02145989.4	申请日期	2002-10-31
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2004-05-05	公开/公告号	CN1493640
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09K3/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09K 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 C09K3/00 不包含在其他类目中的材料〔2〕 C09K3/14 防滑材料；研磨材料（含高分子物质的磨料或摩擦体或者成型磨料的制造入C08J 5/14）〔4〕	IPC分类号	C;0;9;K;3;/;1;4查看分类表>
申请人	长兴化学工业股份有限公司	申请人地址	中国台湾高雄市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鑫明材料股份有限公司	当前权利人	鑫明材料股份有限公司
发明人	李宗和;刘文政;陈彦良
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	戈泊;彭益群

摘要

本发明提供了一种用于半导体制备过程中的化学机械研磨浆液组合物，其包含70-99.5重量%的水性介质；0.1-25重量%的研磨颗粒；0.01-1重量%的腐蚀抑制剂；及0.01至1%选自二醇化物、2-羟基羧酸化物及其混合物的化学品。本发明的化学机械研磨浆液组合物视需要可进一步包含氧化剂。本发明亦涉及该组合物用于研磨半导体晶圆表面的方法。

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