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感光性聚硅氮烷组合物、采用该组合物形成图案的方法及烧结其涂层膜的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN01802578.1
  • IPC分类号:G03F7/38G03F7/40G03F7/075G03F7/004C08L83/16C08K5/3492C08K5/42
  • 申请日期:
    2001-08-24
  • 申请人:
    克拉瑞特国际有限公司
著录项信息
专利名称感光性聚硅氮烷组合物、采用该组合物形成图案的方法及烧结其涂层膜的方法
申请号CN01802578.1申请日期2001-08-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2003-01-01公开/公告号CN1388920
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/38IPC分类号G03F7/38;G03F7/40;G03F7/075;G03F7/004;C08L83/16;C08K5/3492;C08K5/42查看分类表>
申请人克拉瑞特国际有限公司申请人地址
德国达姆*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人默克专利有限公司当前权利人默克专利有限公司
发明人长原达郎;松尾英树
代理机构北京三幸商标专利事务所代理人刘激扬
摘要
本发明提供了一种正型感光聚硅氮烷组合物,其包含:一种改性的聚硅倍半氮烷,其数均分子量为100-100,000,并且包含由下式表示的基本组成单元:-[SiR6(NR7)1.5]-和由下式表示的其它组成单元:-[SiR62NR7]-和/或-[SiR63(NR7)0.5]-,所述其它组成单元与基本组成单元的比例为0.1-100摩尔%(在上式中,R6和R7独立地表示氢、C1-3烷基或取代或未取代的苯基),组合物还包含一种光致酸产生剂。组合物优选包含一种作为形状稳定剂的水溶性化合物。将组合物涂敷至基底上并进行形成图案的曝光。曝光后的涂层膜润湿并用碱性水溶液进行显影。将所得到的图案整体曝光,接着再次润湿,然后烧结。因此,在短时间内,可得到具有满意特性且可用作层间电介质的精细二氧化硅基陶瓷薄膜。

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