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一种集成电路用三端电阻阻值的测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210361841.6
  • IPC分类号:G06F17/50
  • 申请日期:
    2012-09-25
  • 申请人:
    东南大学
著录项信息
专利名称一种集成电路用三端电阻阻值的测量方法
申请号CN201210361841.6申请日期2012-09-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-01-23公开/公告号CN102890736A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G06F17/50IPC分类号G;0;6;F;1;7;/;5;0查看分类表>
申请人东南大学申请人地址
江苏省无锡市新区菱湖大道99号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东南大学当前权利人东南大学
发明人刘斯扬;朱荣霞;黄栋;钱钦松;孙伟锋;陆生礼;时龙兴
代理机构南京天翼专利代理有限责任公司代理人黄明哲;朱芳雄
摘要
本发明公开了一种集成电路用三端电阻阻值的测量方法,包括以下步骤:步骤10)建立集成电路用三端电阻的宏模型;步骤20)构建集成电路用三端电阻的测试结构;步骤30)建立二极管测试数据文件和三端电阻测试数据文件;步骤40)建立集成电路用三端电阻的交流特性的模型;步骤50)建立集成电路用三端电阻的直流特性的模型;步骤60)建立三端电阻模型文件;步骤70)测量集成电路中三端电阻的电阻特性。该测量方法简单有效,可以解决现有集成电路工程上基于三端电阻物理模型R3cmc的仿真方法过于复杂且对尺寸拟合度差的问题。

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