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射频离子源用平面螺旋线圈自动绕线装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921356405.3
  • IPC分类号:H01J9/00
  • 申请日期:
    2019-08-20
  • 申请人:
    常州鑫立离子技术有限公司
著录项信息
专利名称射频离子源用平面螺旋线圈自动绕线装置
申请号CN201921356405.3申请日期2019-08-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J9/00IPC分类号H;0;1;J;9;/;0;0查看分类表>
申请人常州鑫立离子技术有限公司申请人地址
江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州鑫立离子技术有限公司当前权利人常州鑫立离子技术有限公司
发明人陈晓东
代理机构常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)代理人周颖洁
摘要
本实用新型涉及一种射频离子源用平面螺旋线圈自动绕线装置,具有线盘和绕线机构;所述线盘上按平面螺旋线圈的绕线轨迹设有定位柱,且近中心的定位柱一侧开设有插孔;所述绕线机构固定安装于机架上,且下端固定于线盘中心,绕线机构包括螺杆、驱动电机、移动套、压杆和连杆;所述驱动电机的基座固定安装于机架上,其转动轴与转动套相连;所述螺杆的上端通过轴承与转动套相连,下端通过底座与线盘固定连接;所述压杆的上端与转动套铰接,下端与连杆的一端销接,中间段呈弯折状态,压杆位于初始位置时,其下端的延长线与螺杆的中轴线成锐角;所述连杆的另一端与螺纹连接在螺杆上的移动套铰接。本实用新型具有省时省力的效果。

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