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一种正负调幅脉冲驱动静电探针及数据采集分析一体装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610241321.X
  • IPC分类号:H05H1/00
  • 申请日期:
    2016-04-19
  • 申请人:
    陈兆权;丘汉标
著录项信息
专利名称一种正负调幅脉冲驱动静电探针及数据采集分析一体装置
申请号CN201610241321.X申请日期2016-04-19
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2016-06-22公开/公告号CN105704900A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H05H1/00IPC分类号H;0;5;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人陈兆权;丘汉标申请人地址
安徽省马鞍山市花山区信息路51号榕基云谷电商产业园2栋3号楼431室创客空间GS0008-C1-2-10-080 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽酷熠电磁科技有限公司当前权利人安徽酷熠电磁科技有限公司
发明人陈兆权;丘汉标;宋晓
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种正负调幅脉冲驱动静电探针及数据采集分析一体装置,采用幅值可调的方波脉冲信号经过放大后作为Langmuir探针的偏置电压。电流信号采集系统在每个脉冲偏置电压上特定的电流采集点进行快速采集电流,然后电压降到0值,探针自然冷却后,再进行下一个脉冲方波的施加和采集,从而避免探针自加热效应的产生。并且,电流信号采集系统采用软开关技术和大范围电流测量手段,避免了离子电流微纳量采集的精度缺陷。最后,同步电压信号和电流信号经过DSP数据处理系统处理计算后得到Langmuir探针的V‑I特性曲线及电子温度、能量分布、电子密度和空间电位等参数,并在上位机系统上方便显示。

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