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扩展装置及部件的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210509906.7
  • IPC分类号:H01L21/00;H01L21/68
  • 申请日期:
    2012-12-03
  • 申请人:
    株式会社村田制作所
著录项信息
专利名称扩展装置及部件的制造方法
申请号CN201210509906.7申请日期2012-12-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-06-19公开/公告号CN103165404A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人株式会社村田制作所申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社村田制作所当前权利人株式会社村田制作所
发明人水上美由树;山田尚弘
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人张宝荣
摘要
本发明提供一种能够使粘接带在晶片粘贴区域中更有效地扩张,从而能够高精度地拾取部件的扩展装置及使用了该扩展装置的部件的制造方法。扩展装置(1)中,将粘接带(2)的包括粘贴有晶片(4)的部分在内的中央的第一部分载置在加热台(5)的上表面上,以包围加热台(5)的外周缘的方式配置非加热环(12),在非加热环(12)的上表面载置隔热件(11),粘接带(2)的第一部分外侧的第二部分位于上述隔热件(11)上,比第二部分靠外侧的第三部分由保持装置(14)保持,通过驱动装置(M)能够将保持装置(14)相对于加热台(5)及非加热环(12)沿上下方向驱动。

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