反射折射投影物镜

发明专利有效专利

申请号：
CN200580002499.9
IPC分类号：G02B17/00;G03F7/20
申请日期：
2005-01-13
申请人：
卡尔蔡司SMT股份公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	反射折射投影物镜
申请号	CN200580002499.9	申请日期	2005-01-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-02-07	公开/公告号	CN1910494
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B17/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B17/00 有或无折射元件的具有反射面的系统（显微镜入G02B 21/00；望远镜、潜望镜入G02B 23/00；其他位置不包括的光束整形入G02B 27/09光束分解或合成入G02B 27/10；光学投影入G02B 27/18）〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;1;7;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	卡尔蔡司SMT股份公司	申请人地址	德国上科亨变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司	当前权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人	D·谢弗;W·乌尔里希;A·多多克;R·冯比瑙;H·-J·曼;A·埃普勒
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	邱军

摘要

一种反射折射投影物镜(200)，用于将提供在投影物镜的物面(201)中的图形成像在投影物镜的像面(202)上，包括：第一物镜部分(210)，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分(220)，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分(230)，用于将第二中间图像直接成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜(221)和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜(222)布置在第二中间图像的上游；光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，形成在第一和第二中间图像之间，并且形成在第二中间图像和像面之间；所有凹面镜布置成光学远离光瞳面。该系统在适度透镜材料物质消耗的情况下具有非常高的数值孔径。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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