一种光子晶体中纳米直孔周期性阵列制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610802133.X
IPC分类号：G02B6/138;G02B6/136;G02B6/13
申请日期：
2016-09-06
申请人：
江苏大学

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专利名称	一种光子晶体中纳米直孔周期性阵列制备方法
申请号	CN201610802133.X	申请日期	2016-09-06
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2016-12-14	公开/公告号	CN106226865A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/138 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕 G02B6/13 以制作方法为特征的集成光路〔6〕 G02B6/138 用聚合反应〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;3;8;;;G;0;2;B;6;/;1;3;6;;;G;0;2;B;6;/;1;3查看分类表>
申请人	江苏大学	申请人地址	江苏省镇江市京口区学府路301号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏大学	当前权利人	江苏大学
发明人	葛道晗;张金花;钱栋梁;张立强;程广贵
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明提供一种光子晶体中纳米直孔周期性阵列制备方法，该方法可以快速实现纳米级光子晶体中直孔阵列的自定位周期性制备。该方法包括以下步骤：首先选择材料，接着制备样品，在硅片上PECVD淀积氮化硅，接着进行光刻，再用离子束轰击去除图形区的氮化硅，然后进行第一次电化学腐蚀，氧化形成多孔硅衬底POPS，化学机械抛光、KOH溶液腐蚀形成倒金字塔尖端，最后进行第二次电化学腐蚀制备具有周期性且具有自定位功能的纳米直孔阵列。上该方法易于操作，处理简单，适合大批量快速纳米级周期性孔制备，该方法制备的纳米孔定位更精确。

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